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연구개발 과제 참여 현황

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개발과제 주관부처 참여과제명 참여년월
Lapping공정 개발 중소벤처기업 반도체 공정장비용 Quartz Ring의 생산성 향상을 위한
Lapping 공정 최적화 기술개발		 2020.06.15. ~ 2021.06.14.
Quartz Burner 제조 기술 개발 중소벤처기업 광섬유 제조용 8-Way 동심원형 Quartz Burner 제조 기술개발 2020.12.31. ~ 2023.3.31.
quartz shower head 개발 중소벤처기업 곡면 Rail과 2-step 미세홀을 가지는 curved type의
반도체 poly etcher 장비용 quartz shower head 개발		 2022.04.01. ~ 2024.9.31.
하소(calcination)
처리장치 개발		 창업진흥원 고순도 6N (Si>=99.9999%)급 SiO2 개발을 위한
하소(calcination) 처리장치		 2024.05.01. ~ 2025.02.28.
(진행중)
연소버너 기술개발 산업통상자원부 유리산업 탄소중립을 위한 비탄산염원료 및 연료전환 용융공정 기술 개발 2024.07.01. ~ 2028.12.31.
(진행중)